1,壓阻式傳感器的靈敏度系數比金屬應變式壓力傳感器大50-100倍。有時壓阻式傳感器的輸出可以不經放大器直接測量。
2.由於采用集成電路工藝加工,結構尺寸小,重量輕。
3、壓力分辨率高,可以檢測小到血壓的微壓。
4.頻率響應好,可以測量幾十千赫茲的脈動壓力。
5.由於傳感器的力傳感元件和檢測元件控制在同壹矽片上,工作可靠,綜合精度高,使用壽命長。
6.因為傳感器由半導體材料矽制成,所以對溫度很敏感。如果不采用溫度補償,其溫度誤差較大。
壓阻式壓力傳感器的基本介紹:
壓阻式傳感器有兩種:壹種是利用半導體材料的體電阻制作粘貼式應變片,稱為半導體應變片,另壹種是利用集成電路技術制作在半導體材料襯底上的擴散電阻,稱為擴散壓阻式傳感器。
半導體應變傳感器半導體應變傳感器的結構與電阻應變計傳感器基本相同,也是由彈性敏感元件等三部分組成。不同的是,應變片的敏感柵是由半導體材料制成的。與金屬應變片相比,半導體應變片最突出的優點是體積小,靈敏度高。其靈敏度系數比後者大幾十倍甚至上百倍,輸出信號有時可以不經放大直接測量記錄。