丁玉成的研究團隊和設施

研究團隊由具有多學科背景的人員組成，包括丁玉成(教授，機械工程)、劉洪中(副教授，電氣工程)、段玉剛(副教授，高分子化學)、邱誌輝(副教授，機械工程)、王壹清(高級工程師，機械工程)、王力(博士，計算機)。

在學校985計劃和211計劃的持續支持下，研究團隊建成了120平方米的潔凈實驗室(2008年底將遷入1600平方米的新建大型潔凈實驗室)，並購置了以下與微納制造和光電制造研究相關的主要設備(總投資44萬平方米)

■電子束直接寫入掩模對準器(Crestec公司)

■雙面準接近曝光機(美國ABM)

■旋轉塗布機(美國APTO)

■恒溫顯影臺(臺灣省)

■ 1原子力顯微鏡(美國制造)

■ SEM掃描電子顯微鏡(日本精工)

■接觸式探針臺階儀(美國Ambios)

■白光幹涉顯微輪廓測量儀(美國Plasmastar)

■等離子蝕刻(PE)除膠劑(美國Plasmastar)

■ ICP蝕刻機(中國制造)

■博世工藝幹蝕刻機(英國牛津)

■多通道磁控濺射臺(美國Dolgo)

■管式爐(碳納米管生長)

■矽片包裝機

■真空熱封機

■小型CMP拋光機

■光譜薄膜厚度檢測器(美國制造)

■用於測量薄膜特性的橢偏儀(Keyence，日本)

■ 3000倍光學顯微鏡(帶CCD成像系統)1臺(日本制造)

■多功能高分子材料理化性能測試儀(國產)

■ 10mx5m隔振工作臺和光學工作站

■硬度測量儀(英國制造)

■高性能電能表和IV/CV測量系統(表征設備的電子特性和材料的介電特性)

■界面接觸角和表面張力分析儀

■比表面積和孔隙率分析儀

■飛秒激光直寫加工系統(德國制造)

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