1、“以柔克剛”，特種加工的工具與被加工零件基本不接觸，加工時不受工件的強度和硬度的制約，故可加工超硬脆材料和精密微細零件，甚至工具材料的硬度可低於工件材料的硬度。
2、加工時主要用電、化學、電化學、聲、光、熱等能量去除多余材料，而不是主要靠機械能量切除多余材料。
3、加工機理不同於壹般金屬切削加工，不產生宏觀切屑，不產生強烈的彈、塑性變形，故可獲得很低的表面粗糙度，其殘余應力、冷作硬化、熱影響度等也遠比壹般金屬切削加工小。
4、加工能量易於控制和轉換，故加工範圍廣，適應性強。