該工藝主體設備是壹個類似於超吸附塔的活性炭流化床吸附器，在吸附器內，煙氣中的SO2被氧化成SO3並溶於水中，產生稀硫酸氣溶膠，隨後由活性炭吸附。向吸附塔內註入氨，氨與NOx在活性炭催化還原作用下生成N2，吸附有SO2的活性炭可進入脫附器中加熱再生。
2、SNOx（WSA-SNOx）法
WSA-SNOx法是濕式洗滌並脫除NOx技術。在該工藝中煙氣首先經過SCR反應器，NOx在催化劑作用下被氨氣還原為N2，隨後煙氣進入改質器中，SO2在此被固相催化劑氧化為SO3，SO3經過煙氣再熱器GGH後進入WSA冷凝器被水吸收轉化為硫酸。
3、NOxSO法
在電除塵器下遊設置流化床吸收塔，用硫酸鈉浸漬過的γ－Al2O3圓球作為吸收劑，吸收劑吸收NOx、SO2後，在高溫下用還原性氣體（CO、CH4等）進行還原，生成H2S和N2。
4、高能粒子射線法
高能粒子射線法包括電子束（EBA）工藝和等離子體工藝，原理是利用高能粒子（離子）將煙氣中的部分分子電離，形成活性自由基和自由電子等，氧化煙氣中的NOx。這種技術不僅能去除煙氣中的NOx和SO2，還能同時去除重金屬等物質。
5、濕式FGD加金屬螯合物法
仲兆平等發明了噴射鼓泡法用煙氣脫硫脫硝吸收液，包括石灰或石灰石漿液、占石灰或石灰石漿液0.05%～0.5%（質量分數）的水溶性有機酸和占石灰或石灰石漿液0.03%～0.3%（質量分數）的鐵系或銅系金屬螯合物。
6、氯酸氧化法
由於氯酸的強氧化性，采用含有氯酸的氧化吸收液可以同時脫硫脫硝，脫硫率可達98%，脫硝率達95%以上，還可以脫除有毒的微量金屬元素。除了采用氯酸脫硫脫硝外，采用NaClO3/NaOH同時脫除SO2和NOx也獲得較好的效果。