特別是碳化矽拋光液(CM-S600系列)主要由高純度矽膠組成，不僅具有良好的穩定性和分散性，而且去除率高，表面效果優異，對工件無損傷。此外，Qual Diamond自主研發的鉆石拋光液也為碳化矽等先進材料提供了高效的拋光液。
總之，選擇合適的拋光液和工藝對研磨拋光碳化矽非常重要，可以根據具體需要和材料特性選擇合適的拋光液。