烘烤和固化可以在烘箱中進行，並且在烘烤之前將保護氣體如氮氣或氦氣引入烘箱中。
半導體用氮氣烘箱的循環風道的性能和加熱結構與普通烘箱不同。設備配有氮氣裝置和進口氮氣流量計，可以更精確地控制氮氣進入箱內的流量。