激光幹涉儀的主要特性

該激光幹涉儀精度高、測量範圍寬、測量速度快、高速下分辨率高。結合不同的光學鏡頭組，可實現線長測量、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參數的高精度測量；配合動態測量軟件，可以實現直線位移、角度、直線度的動態測量和性能檢測，以及位移、速度、加速度、振幅、頻率的動態分析，如振動分析、絲杠導軌動態特性分析、驅動系統響應特性分析等。

1.高精度

采用激光雙縱模熱穩頻技術，可實現精度高、抗幹擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出，精度可達納米級，可精確測量平行度和垂直度的微小變化。

2.無觸點

不需要接觸被測物體，不會影響被測物體，也不會因為磨損而產生誤差。

3.快速穩定

采用高速幹涉信號采集、調理和細分技術，可以達到4m/s和納米分辨率的測量速度，測量速度非常快；而且幹涉鏡與主機分開設計，避免了幹涉鏡受熱影響，幹涉光路穩定可靠，保證了長期穩定測量。

4.應用範圍廣

激光幹涉儀可以檢測數控機床、三坐標測量機等精密運動設備導軌的直線定位精度、重復定位精度、俯仰角、扭轉角、直線度和垂直度。

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