利用相控陣原理實現固態激光雷達，完全取消機械結構，通過調節發射陣列中各個發射單元的相位差來改變激光的出射角。光學相控陣壹般是通過電信號嚴格控制其相位來實現波束指向掃描，所以也可以稱為電子掃描技術。但也容易形成旁瓣，影響波束的工作距離和角分辨率，難以產生。
使用3D Flash技術的固態激光雷達屬於非掃描雷達，它發射面光，是壹種以2d或3D圖像為輸出內容的激光雷達。雖然穩定性和成本都不錯，但主要問題在於探測距離短，技術可靠性差。
基於MEMS的固態激光雷達通過微振鏡改變單個發射器的發射角度進行掃描，從而形成面陣的掃描視場。目前很多廠商都在研發基於MEMS的激光雷達。相比前兩者，MEMS在技術上更容易實現，成本也更低。因此也被主機廠商壹致看好。
固態激光雷達有很多優點。首先，它結構簡單，體積小。由於不需要旋轉部件，可以大大壓縮雷達的結構和尺寸，提高其使用壽命，降低其成本。其次，由於機械激光雷達的光學結構固定，往往需要精確調整其位置和角度以適應不同的車輛，而固態激光雷達可以通過軟件進行調整，大大降低了標定的難度，加快了掃描速度和精度。
然而，固態激光雷達也有其相應的缺點。固態激光雷達是指不能360度旋轉，只能探測前方。因此，為了實現全方位掃描，需要在不同方向布置多個固態激光雷達。此外，固態激光雷達仍然無法解決其在極端氣候下無法顯示性能的缺點。如果與全天候毫米波雷達結合，自動駕駛汽車的探測性能將大大提高。