微波輻射在溶液中制備的表面包覆納米粉體具有高結晶度和高分散性的優點，產品的產率很高。在薄膜制備領域，在有機基底上制備厚度為幾微米的薄膜。在微波能量的作用下，薄膜具有高度的致密性，其特性與直接用粉末燒結的塊體材料相當。提供了壹種在有機基底上制備具有高介電、壓電、磁性和導電性能薄膜的新方法，以及微波納米粉末成膜技術。
微波也廣泛應用於材料加工領域。微波場的高穿透性為材料的均勻加熱提供了可行性，可以瞬間加熱特定區域，增加材料熱處理的自由度，同時提供傳統加熱工藝無法做到的材料特性，使微波場在材料改性和加工技術上有了新的應用。納米材料將使材料具有許多特殊功能，微波的引入為材料特殊功能的實現提供了新的思路。雖然材料在納米尺度微波場中的行為還有待研究，但微波場的強化效應為納米材料的合成提供了新技術。