2.精密加工，壹般指精度要求在IT5以上的加工，用普通的工藝和設備很難滿足要求。壹般需要使用精密機床、設計良好的工藝、專用工具和測量儀器，在適宜的環境下完成加工。
3.微細加工，廣義上是指微小尺寸或極小操作尺寸的加工。壹般整體尺寸小於3 mm，少切削或不切削的加工工藝為精加工。它廣泛應用於航空航天、精密儀器、生物醫學等領域。
除機械加工外，微加工大多采用電加工、化學加工、波加工、等離子、激光、粒子、光刻等技術手段。
狹義的微加工主要是指半導體集成電路的制造技術。
4.精加工不壹定是精密加工。特別是在半導體集成電路制造技術領域，它們對精度的定義和要求不同於傳統的機械加工。
5.數控機床不壹定是精密機床。數控技術解決了控制、檢測、反饋、操作和壹些執行機構的問題。機械加工的精度主要取決於機械零件的精度。