擴散爐有垂直擴散爐（vertical）和水平擴散爐（horizontal）兩種類型。
垂直擴散爐是石英舟垂直於水平面，更加有利於機械手傳送矽片，片內工藝參數壹致性更好。 水平擴散爐是石英舟平行於水平面，壹臺可以4個或4個以上的工藝爐管，平均爐管的占地面積更小，片間的工藝參數較垂直擴散爐更好。