構成:設備真空系統主要由真空室、泵系統和各控制閥及熱交換器組成。其中泵系統由機械泵、維持泵、羅茨泵、擴散泵等構成。閥門包括前級閥（碟閥）、旁路閥（碟閥）、維持泵閥（碟閥）和高閥（板閥）組成，各閥門均為氣動閥，由PLC控制氣動閥進行控制。加熱室主要由不銹鋼加熱室殼體、不銹鋼反射屏、加熱器、陶瓷絕緣件、水冷電極、爐床等組成。