構成:設備真空系統主要由真空室、泵系統和各控制閥及熱交換器組成。其中泵系統由機械泵、維持泵、羅茨泵、擴散泵等構成。閥門包括前級閥(碟閥)、旁路閥(碟閥)、維持泵閥(碟閥)和高閥(板閥)組成,各閥門均為氣動閥,由PLC控制氣動閥進行控制。加熱室主要由不銹鋼加熱室殼體、不銹鋼反射屏、加熱器、陶瓷絕緣件、水冷電極、爐床等組成。