與傳統電子技術相比，微電子技術的特點是器件和電路的小型化。它緊密結合了電路系統的設計和制造工藝，適合大規模批量生產，因此成本低，可靠性高。隨著超精細加工技術的提高，生產已達到亞微米甚至更高的光刻水平，其集成度已超過每芯片10 ~ 10個元件。高質量超薄氧化層、新型離子註入退火技術、高導電高熔點金屬及其矽化物的金屬化和淺歐姆接觸、晶體完整性好的大直徑芯片、低溫加工等壹系列工藝技術的快速進步，將大大提高微電子器件及其集成電路的性能。沒有微電子技術，今天的微型計算機、衛星通信、機器人都是不可想象的。21世紀，微電子技術是改變生產和生活面貌的主導技術。