激光幹涉儀是壹種精密測量儀器，用於測量光的幹涉現象。在激光幹涉儀中，使用擴展光源照明和透鏡可以形成平行光束。在幹涉儀的結構中，通常有兩塊平行的玻璃或金屬板，其中壹塊是固定的，另壹塊可以移動，從而改變兩塊板之間的距離。在移動過程中，由於材料熱脹冷縮等因素的影響，很難保持兩塊板的內壁嚴格平行。為了解決這個問題，激光幹涉儀通常會增加壹個平行的墊片，墊片通常由銦鋼等材料制成，其膨脹系數很小。當溫度變化時，墊片的膨脹或收縮可以在壹定程度上抵消兩板之間的變形，從而保持兩板之間的距離固定且嚴格平行。