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清潔度如何分級,標準是什麽?

潔凈度是根據空氣中顆粒的多少來分級的,主要是浮塵、細菌等有害物質。另外,根據不同的工藝要求,溫濕度、壓力、噪音都會得到壹定程度的控制。

清潔度分類是檢測壹定空間範圍內的顆粒。最常用的是美國聯邦209E標準,檢測1立方英尺(ft?)。國際ISO14644探測1立方米(m?)。粒徑為0.1-5μm,壹般取0.5μm作為參考值。

例如,100級潔凈室,1立方英尺(ft?0.5μm有100個粒子,千個是1000,萬個是10000,非常好理解。因此,值越小,清潔度級別越高。

美國聯邦209E與國際ISO等級對照表。

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