清潔度分類是檢測壹定空間範圍內的顆粒。最常用的是美國聯邦209E標準,檢測1立方英尺(ft?)。國際ISO14644探測1立方米(m?)。粒徑為0.1-5μm,壹般取0.5μm作為參考值。
例如,100級潔凈室,1立方英尺(ft?0.5μm有100個粒子,千個是1000,萬個是10000,非常好理解。因此,值越小,清潔度級別越高。
美國聯邦209E與國際ISO等級對照表。