1，系統結構
激光頭發射的He-Ne激光(頻率f0)通過平行鏡(註:激光頭和平行鏡是相反的。
在測量過程中，反射鏡必須彼此相對移動，反射回激光頭中的檢測器(頻率fr)。已檢波的信號
它被發送到處理器進行必要的處理，例如鑒相和計算。經過處理的信號可以被送到計算機進行測量、分析、制表和打印。
圖等。如果需要，簡單的位移(或角度偏差)數據也可以發送到顯示器。加工控制器還負責提升激光頭
電源和光電調制驅動信號。
2.激光頭結構
如圖5所示，激光頭內部有壹個He-Ne激光管，發射He-Ne激光，這個激光需要通過電光調制器。
調制後會發射到外面。探測器負責將接收到的反射光轉換成電信號，並將其發送回處理控制器進行加熱/
鎖定電路用於鎖定激光頻率，使其不會漂移。
3.處理機結構
調相部分負責對探測器返回的信號進行鑒相和積分處理，並將處理後的信號發送出去。
對於計數器和微處理器，後者輸出加減位計數(以及來自A Quard B和環境補償器的溫度和氣壓)
)信號，這些信號被傳送到計算機進行測量、分析和列表。控制電路負責控制和協調
行動。