利用壓電材料的逆壓電特性，激發電機定子的機械振動，通過定子與轉子之間的摩擦將電能轉化為機械能輸出，驅動轉子定向運動。與傳統電機相比，它具有體積小、低速轉矩高、反應速度快、不受磁場影響、保持轉矩大等優點，近年來已成為國內外微電機的研究熱點。
傳統電機
常規永磁電機容易出現齒根飽和，齒槽轉矩嚴重，電機定位轉矩大，啟動困難。盤式電機:從它的結構可以知道，電機的散熱性能很好(傳統的電機定子把轉子包裹在裏面，所以散熱性能不是很好。而且盤式電機在汽車輪轂和風力發電上的應用應該有獨特的優勢，但是功率密度較低。
區分
與電磁馬達相比，超聲波馬達有兩個不同之處。首先，超聲電機必須工作在超聲頻域。根據各種電機結構形式的不同，要求驅動器輸出頻率為20~100 kHz的高頻電壓。第二，由於壓電材料具有容性負載的特性，不同於傳統電機的感性或阻性負載，為了提高驅動電路的效率，實現高效的能量轉換，使換能器獲得足夠的功率，必須在驅動電源和換能器之間增加壹個匹配電路。