人殉制度的式微當在漢以後。式微表現在二個方面：壹是壹次殉葬的人數減少，二是殉葬強制力的降低，三是殉葬發生的概率降低。當然，漢以後殉葬還是存在。漢代劉彭祖將死之時“令能為樂奴婢從死”。三國時東吳名將陳武戰死合肥之戰，孫權“命其愛妾殉葬。”。魏國叔孫建死時28歲，其配偶當也很年輕，太宗說，“夫生既***榮，沒宜同穴，能殉葬者可任意”。“可見殉葬已經披上了“自願”的外衣。
至唐時，人殉很少發生，但仍然存在。隋末的杜伏威造反，與隋兵戰，“所獲貲財，皆以賞軍士，有戰死者，以其妻妾殉葬……”杜降唐後被封為吳王。以此可以確定兩點：壹是隋末仍有殉葬法，壹是杜伏威就下過殉葬的命令。阿史那社爾為突厥處羅可汗之子，後率軍內屬，被招為駙馬。在征龜茲中擄龜茲王，深得唐太宗賞識。他請求太宗死後以身殉葬，“高宗遣使喻以先旨，不許”。可見唐初人殉遺風仍在，否則不會有請求死後殉葬的事發生，只是出於太宗的仁慈才避免了這次人殉悲劇。事實上，唐武宗死後就發生了王才人殉葬的事。宋繼承了唐的傳統，只發生過個別的人殉，宋高宗趙構死有二才人殉葬。
上述史料表明，漢以後人殉逐漸式微，唐宋時作為普遍性法律制度的人殉消失，但是基於“自願”的人殉的個案還是存在。 人殉在遼金時期死灰復燃，又流行了近七百年。元代大肆鼓勵民間殉葬行為，《元史》多有記載，如《元史·卷三十四》：“順德馬奔妻胡閏奴、真定民妻周氏、冀寧民妻魏益紅以夫死自猛殉葬，並旌其門。”《元史·卷三十五》：“大寧和眾縣何千妻柏都賽兒，夫亡以身殉葬，旌其門。”
朱元璋開明代殉葬惡例。“初，太祖崩，宮人多從死者。建文、永樂時，相繼優恤。若張鳳、李衡、趙福、張璧、汪賓諸家，皆自錦衣所試百戶、散騎帶刀舍人進千百戶，帶俸世襲，人謂之‘太祖朝天女戶’。歷成祖，仁、宣二宗亦皆用殉。景帝以郕王薨，猶用其制，蓋當時王府皆然。朱元璋死後殉葬的殯妃有46人。明宣宗朱瞻基（1398年－1435年1月31日）死也有妃子殉葬，沒有名只有姓的女子有：何氏、趙氏、吳氏、焦氏、曹氏、徐氏、袁氏、諸氏、李氏，冊封的文書說他們“茲委身而蹈義，隨龍馭以上賓，宜薦徽稱，用彰節行。蓋宣宗殉葬宮妃也”。
明英宗（1427-1464）將死之時事情才出現了轉機。史載英宗病重，“口占遺命，定後妃名分，勿以殯禦殉葬，凡四事，付閣巨潤色”。從此以後，明代王室消滅了人殉制度。明代民間也有殉葬，且其歷史要比王室的強制性殉葬久遠得多：起蛟為憲王相，大盜李青造反，憲工被難，“起蛟率親屬23人殉之”。“徐學顏為新兵將軍，新兵叛亂，“學顏格鬥，斷左臂，大罵不屈，為賊支解，壹家二十余人殉之”。明代在滿人的建州府治蔔通行人殉習俗，滿人好殉葬，上下皆然，夫死妻殉是定法。
清朝入主中原以後，用定法的形式將殉葬擴展到全國上下。“二月壬戌，定喪祭例，妻殉夫者聽，仍予旌表。清史載努爾哈赤、順治、康熙年間都有殉葬。康熙12年（1674年）“乙卯，禁八旗以奴仆殉葬”。至此，普遍存在的“八旗以奴仆殉葬”的制度才被禁止。但是，清統治者“壹而明令廢除殉葬制，另壹而又在實際行動上大力表彰妻妾‘自願’殉死的舉動。民間各地官府表揚妻妾殉夫，稱她們為‘烈女’、‘節婦’，並修書、立牌坊。故終清之世，實際上人殉制並未徹底根除”。