生物法對於惡臭氣體從發展歷程上而言經歷了生物滴濾、生物洗滌到生物過濾的多種工藝進化，目前經過市場檢驗的生物除臭設備主要為聯合生物洗滌-過濾法。
該方法綜合了前代技術的優點，通過改進填料、噴淋方式和水循環系統設計等，解決了傳統生物法存在的難以應對高負荷廢氣臭氣、填料堵塞、浪費水電資源、運行成本高、長時間運行後系統酸化等各種問題。
設備由風機1、營養循環區2、布風區3、生物填料區4和除霧區5構成。來流氣體通過風機經風管1a（尺寸根據實際處理風量決定）進入布風區，該區域布置有壓力計3a壹端接口，用以測算氣體進入填料前的壓力大小；布風區下側是營養循環區，該區域設有pH計2a用以監測循環液的酸堿程度，排液閥2b用於廢液的排出，循環液通過循環泵2c提升到填料上方噴嘴2d進行噴淋，噴嘴角度為120°，管道設有流量計2e；氣體經過布風區後進入生物填料區，該區域由隔柵4a和生物填料層4b組成；穿過生物填料區後進入除霧區，該區域接入壓力計後端用以測算流經生物填料後氣體壓力，上方設置氣液分離裝置5a，外側有噴嘴檢修孔5b，經除霧後氣體達標排放。營養循環區、布風區、生物填料區和除霧區***同組成裝置箱體。
聯合生物洗滌-過濾除臭裝置結構示意圖
生物法對惡臭汙染物的治理原理如下：
①惡臭氣體的溶解過程。廢氣與水或固相表面的水膜接觸，汙染物溶於水中成為液相中的分子或離子，即惡臭物質由氣相轉移到液相，這壹過程是物理過程，遵循亨利定律；
②惡臭物質的吸附、吸收過程。水溶液中惡臭成分被微生物吸附、吸收，惡臭成分從水中轉移至微生物體內。作為吸收劑的水被再生復原，繼而再用以溶解新的廢氣成分。被吸附的有機物經過生物轉化，即通過微生物胞外酶對不溶性和膠體狀有機物的溶解作用後才能相繼地被微生物攝入體內。如澱粉、蛋白質等大分子有機物在微生物細胞外酶(水解酶)的作用下，被水解為小分子後再進入細胞體內。由此可見，當以汙泥或膜形態存在的微生物表面壹旦通過吸附而被有機物覆蓋後，其進壹步吸附的作用將受到限制，因而需要通過膜的表面更新或不斷補充具有吸附能力的微生物菌膠團，才能保證此過程的順利進行；
③惡臭物質的生物降解過程。進入微生物細胞的惡臭成分作為微生物生命活動的能源或養分被分解和利用，從而使汙染物得以去除。烴類和其他有機物成分被氧化分解為CO2和H2O，含硫還原性成分被氧化為S、SO42-；含氮成分被氧化分解成NH4+、NO2-和NO3-等。
生物膜原理圖