1.沈積速率不穩定:由於合金膜中不同金屬元素的蒸汽壓不同，蒸發時很難保持均勻的沈積速率。這可能導致薄膜不同區域的成分不同，從而影響其性能。
2.合金成分偏離目標值:合金薄膜材料的成分通常根據具體的應用要求來設計。如果蒸發過程出現問題，合金成分可能會偏離目標值，從而影響薄膜的性能。
3.沈積速率慢:由於合金薄膜材料的結構和成分復雜，通常沈積速率較慢，需要更多的時間和資源才能獲得足夠厚度的薄膜。
4.開裂和起皺:在蒸發過程中，合金薄膜材料可能受到熱應力和機械應力的影響，產生薄膜開裂和起皺等問題。