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什麽是分子層沈積,有什麽用?

分子層沈積(MLD)是壹種沈積具有絕對分子層的有機聚合物薄膜的方法。基於表面自限化學反應原理,每次循環只沈積壹個單層,膜的厚度由循環次數控制。其原理是將兩種反應氣體(或蒸汽)以氣體脈沖的形式交替通入反應器中,與留在基底表面的吸附分子(如羥基或氨基)反應生成薄膜。由於每個反應所涉及的反應物僅限於化學吸附在襯底表面的分子,MLD具有自限生長的特點。請參考北京博盈科技有限公司的相關文章..可用於沈積聚酰亞胺,微電子工業和MEMS工業中的封裝,耐高溫,耐磨損。也可用於電動車電池行業,用於耐高溫薄膜的沈積,有效保護電池。根據文獻,MLD可用於沈積以下單分子有機聚合物膜:聚酰亞胺(碳膜可通過熱解獲得)、聚脲聚脲、聚酰胺(尼龍66)、聚酰亞胺-酰胺、聚氨酯、聚硫脲、聚酯、聚乙二醇(PEG)等。有機-無機雜化膜:鋁、鈦、鋅和鐵的有機-無機雜化膜...目前從各大搜索網站來看,沒有歐美商用MLD設備,只有國產商用設備...?
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