MEMS是MEMS的縮寫。MEMS主要包括微機械、微傳感器、微致動器和相應的處理電路等。它是在集成各種微細加工技術的基礎上，應用現代信息技術的最新成果而發展起來的高科技前沿學科。
MEMS技術的發展開辟了壹個全新的技術領域和產業。微傳感器、微致動器、微元件、微機械光學器件、真空微電子器件、電力電子器件等。MEMS技術在航空、航天、汽車、生物醫學、環境監測、軍事以及人們接觸到的幾乎所有領域都有非常廣闊的應用前景。MEMS技術正在發展成為壹個龐大的產業，正如微電子工業和計算機工業在過去的20年裏給人類帶來了巨大的變化壹樣，MEMS也正在孕育著壹場深刻的技術變革，對人類社會產生新壹輪的影響。目前，MEMS市場的主導產品是壓力傳感器、加速度計、微陀螺儀、墨水噴嘴和硬盤驅動器。大多數工業觀察家預測，未來五年MEMS器件的銷量將快速增長，年均增長率約為18%，這為機械電子工程、精密機械與儀器、半導體物理等學科的發展提供了極好的機遇和嚴峻的挑戰。微機電系統(MEMS)是壹個全新的研究和發展領域，必須同時考慮多個物理場的混合作用。與傳統機械相比，它們的尺寸更小，最大的不超過壹厘米，甚至只有幾微米，厚度更小。矽基材料具有優異的電學性能。矽材料的強度、硬度、楊氏模量與鐵相近，密度與鋁相近，熱導率與鉬、鎢相近。利用類似於集成電路(IC)的代技術，可以大批量、低成本地使用IC生產中成熟的技術和工藝，相比傳統的“機械式”制造技術，大大提高了性價比。完整的微機電系統是由微傳感器、微致動器、信號處理和控制電路、通信接口和電源組成的集成微器件系統。其目標是將信息的獲取、處理和執行集成為壹個多功能的微型系統，並將其集成為壹個大系統，從而大大提高系統的自動化、智能化和可靠性。
2.無線傳感
無線傳感器網絡是由大量靜止或移動的傳感器以自組織和多跳的方式組成的無線網絡。其目的是在網絡覆蓋的地理區域內，協同感知、收集、處理和傳輸感知對象的監測信息，並報告給用戶。它
無線傳感器網絡，簡稱WSN。大量傳感器節點通過sink節點將檢測數據通過其他網絡發送給用戶。在這個定義中，傳感器網絡實現了數據采集、處理和傳輸三大功能，對應著現代信息技術的三大基礎技術，即傳感器技術、計算機技術和通信技術。
設計優雅的“Ultra Puck”將對自動駕駛技術產生重大影響。馬克·菲爾茲表示，這種傳感器可以在無人駕駛的情況下實時繪制3D地圖，這將有助於增強福特的軟件研發能力，測試更廣泛的駕駛場景。
最小PM2.5傳感器
空品深圳科技公司在CES展期間發布了全球最小的PM2.5傳感器。其封裝尺寸為52×20×15mm。只有目前市面上PM2.5傳感器體積的壹半。由於使用了激光散射技術，其精度非常高。相對誤差