1、掃描隧道顯微鏡是用來檢測微觀形貌的，在其發明以前，就有幾種微觀形貌檢測技術了，只是分辨率較低。表面微觀形貌的測量，從原理上可以分為兩類。
2、第壹類是光成像，包括光折射放大成像和光幹涉成像，光折射放大成像檢測方法的代表是光學顯微鏡和透射電子顯微鏡，光幹涉成像法的代表是光幹涉顯微鏡和TOPO移相幹涉儀。
3、第二類是對試件表面進行掃描，逐點檢測，從而獲得表面微觀形貌的信息，這壹類檢測方法的代表是表面輪廓儀和掃描電子顯微鏡。