凈化空調系統常見的加濕方式有很多，比如噴水、濕膜、高壓噴霧超聲波等。這些加濕方法都屬於等焓加濕過程。而蒸汽噴射、蒸汽幹燥、電極(電熱)加濕都是將蒸汽噴入空調送風，其加濕方式都屬於等溫加濕過程。
在保證潔凈室相對濕度精度方面，上述噴水、高壓噴霧、濕膜等水加濕方式控制精度較低，潔凈室相對濕度精度≤ 10%時最好不要使用。采用噴霧幹燥蒸汽和電熱(電極)加濕的方法。噴幹蒸汽的加濕方式要註意幹蒸汽加濕器的噴汽效率問題。噴入空調箱的蒸汽並不是全部加入空調的送風中，而是有壹部分變成冷凝水排出。因此，在選擇幹蒸汽加濕的加濕量時，應考慮蒸汽噴射的效率。壹些制造商給出了70%的蒸汽噴射效率。
不同的加濕器有不同的應用範圍，如淋水、濕膜、高壓噴霧等水加濕器，其特點是加濕量大，投資成本低，相對濕度控制精度差，所以多用於對相對濕度要求不高(>+/-10%)的水加濕器，加濕量大的工業車間和空調房間的空調系統加濕。而相對濕度控制精度高的幹蒸汽加濕和電極(電熱)加濕由於投資大，大多用於相對濕度精度要求嚴格的潔凈室空調系統加濕。
用於生物潔凈室(如生物制藥、潔凈手術室、無菌室、生物安全實驗室、實驗無菌動物飼養室等。)以微生物為控制對象，重要的是控制微生物的產生和傳播。因為濕度和水分是微生物滋生和繁殖的條件，所以生物潔凈室不能采用淋水、濕膜、高壓噴霧等水加濕的方法，只能采用幹蒸汽加濕和電極(電熱)加濕。
另壹個值得註意的問題是，近年來，我國南方的佛山、廣州，以及東部的上海、蘇州等地的室外空氣相對濕度低於《規範》給出的室外空調計算相對濕度。比如佛山潔凈室和廣州室外空氣的計算相對濕度是70%，上海和蘇州是75%。但這些年測得的室外相對濕度有時只有30%左右。因此，建成並運行的潔凈室的加濕量只有30%左右。有些工廠為了簡化和省錢，在原有空調上加濕膜或噴霧加濕，以增加加濕量。但事與願違，不僅不能添加水分，而且添加的東西很快就會飽和並析出冷凝水，達不到加濕的目的。因為濕膜和高壓噴霧屬於等焓加濕過程，加濕前的空調必須加熱到壹定溫度後才能達到加濕的目的。沒有暖氣是不可行的。
加濕還有壹個需要註意的問題，就是空調裏的氣流帶水。有些項目沒有處理好用水打濕的問題，結果中間的過濾器甚至後面的高效過濾器都被攜帶的水打濕了。對於幹蒸汽加濕器，還應註意蒸汽管和冷凝水管的坡度和方向，以便冷凝水快速排到空調外。如果加濕器位於空調的風扇段，還應采取措施防止冷凝水滴落在電機上，造成電機短路斷電。光微電子凈化工程的定義是將壹定空間內空氣中的塵粒、有害空氣、細菌等汙染物去除，將室內溫濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度及分布、噪聲振動、照明、靜電等控制在壹定的需求範圍內，從而提供壹個專門設計的封閉空間。
光學微電子凈化工程，又稱潔凈室或潔凈室，壹直是半導體、精密制造、液晶制造、光學制造、電路板制造和生物化學、醫藥、食品制造等行業不可缺少的重要設施。近年來，由於技術的創新和發展，對產品的高精度和小型化的需求更加迫切。例如，超大規模集成電路的研究和制造已經成為世界各國科技發展中非常重要的項目，我們公司的設計理念和建造技術在業界處於領先地位。
光微電子凈化工程壹般包括:
1，清潔生產區
2.潔凈輔助用房(包括人員凈化用房、物料凈化用房和部分生活用房等。)
3、管理區域(包括辦公、值班、管理和休息)
4.設備區(包括潔凈空調系統應用、電氣間、高純水及氣體間、冷熱設備間)
材料
1.凈化車間的墻體和頂板壹般采用50mm厚的夾層彩鋼板，其特點是美觀，剛性強。弧形墻角、門、窗框壹般采用特種氧化鋁型材。
2.地板可采用環氧重力平地板或高級耐磨塑料地板。如有防靜電要求，可選擇防靜電型。
3.回風管道采用熱浸鋅板，附凈化保溫效果好的阻燃PF泡沫塑料板。
4.高效送風口不銹鋼邊框美觀幹凈，打孔屏烤漆鋁板無銹無塵，要幹凈。
光微電子凈化的工程解決方案:
在凈化工程設計過程中，應加強對光微電子行業凈化工程設計方案的分析和理解，根據工程是新建工程還是舊廠房改造工程，結合其具體的生產技術和生產工藝，確定所需的潔凈度、溫濕度。然後根據項目的具體情況，並考慮到廠家的經濟承受能力，綜合各種因素確定采用什麽樣的凈化方案，從而設計出能夠滿足甲方生產使用要求，工程造價合理、經濟、節能、實用的方案。
1，組合式空氣處理機組+冷水機組+高效送風口
這是凈化空調系統最傳統的設計方案。組合式空氣處理機組包含各種功能段，如混合段、壹次過濾段、表冷器段、二次回風段(或中間段)、加熱段、加濕段、中間過濾段、風機段等。其冷源由冷水機組提供。
優勢:
A.空氣處理效果好，因為空氣是集中處理的，送風過程中汙染程度低。精確控制送風溫度和濕度；
B.比較適合冷源集中的大型工廠；
C.空調冷熱源可與廠房共用空調系統合用或單獨使用；
D.維護頻率低；
E.車間裏的噪音很低。
缺點:
a需要有完整的冷藏室或室外空間放置熱泵機組。此外，還需要有放置組合式空氣處理機組的空調房間，如容量為25000 m3/h的組合式空氣處理機組，壹般尺寸約為6450×1850×2250mm。老廠房改造項目很難騰出20-30%的機房；
B.成本高。
特點:
A.建議新風集中處理後與回風混合，可減輕表冷器段的冷處理負擔；
b這種方案壹般可適用於潔凈度較高的潔凈無塵車間，如100級、1000級、10000級、100000級等。
2.光微電子行業凈化工程設計方案分析水冷器+增壓空氣櫃+高效送風口。
與前壹種方案相比，這是壹種相對簡單的空調方案。可以大大減少機房的面積。水冷器可根據具體情況布置在較小的機房或凈化車間，增壓空氣櫃也可布置在機房內或掛在機房內或夾層內。
優勢:
A.空氣處理效果好，送風時處理後的空氣汙染小。送風的溫濕度控制效果可以達到更好的控制。主要控制在空氣處理單元(增壓空氣櫃)；
B.布局靈活。自帶冷源；
C.大小工廠，新老廠都適用；
D.維護頻率低；
E.車間內噪音低。
缺點:
A.需要壹個小機房。需要有冷卻塔、冷卻水泵的放置；
B.空調機組和空調處理機組應集中布置；
C.成本低。特點:此方案可以是壹次回風，也可以是二次回風，視車間大小而定；這種方案壹般可以適用於潔凈度幾千、幾萬、幾十萬的潔凈無塵車間。
3.分體空調機櫃++FFU送風口光微電子行業凈化工程設計方案分析。
這是最簡單的空調方案。分體式空調機櫃直接布置在車間內，用彩鋼封閉，機櫃回風口開在彩鋼板上(帶壹級過濾網)；KLC風機過濾器組FFU均勻布置在天花板上。該方案適用於對室內溫濕度精度要求不高的無塵車間。
優勢:
A.不需要占用機房面積，布局靈活；
B.能滿足空氣潔凈度；
C.成本最低。這樣壹個無塵車間的初期投資在40萬左右；
D.送風均勻性好。
缺點:
A.溫濕度控制差；
B.能滿足空氣潔凈度；
C.FFU的維護頻率很高。
4.光微電子工業凈化工程設計方案分析中潔凈廠房的特點。
壹、無塵車間
清潔度:
LCD屏幕制作的簡要流程如下:清洗→印刷取向膜→摩擦→密封印刷層並鋪間隔物→組合→劃線切割→LC註入→粘貼偏光片→屏幕制作最終檢驗。
在本次設計中，參考了壹些工藝末端的無塵車間，其凈化潔凈度壹般為千或萬或十萬。背光屏無塵車間主要是這類產品的沖壓車間和組裝車間，潔凈度壹般在壹萬或十萬。
b、室內空氣參數要求:
(1)溫濕度要求:溫度壹般為24±2℃，相對濕度為55±5%。
(2)新風量大。由於這類車間人多，可按以下數值取最大值:10-非單向流潔凈室總送風量的30%；補償室內排風，維持室內正壓所需的新鮮空氣；保證每人每小時室內新風量≥ 40m3/h
(3)送風量大。為了滿足潔凈室的潔凈度和熱濕平衡，需要較大的送風量。300平米的車間，吊頂高度2.5米。如果是10000級，則需要送風量300×2.5×30 = 22500 m3/h(換氣次數≥25次/h)；如果是10萬級，則需要送風量300×2.5×20=15000m3/h(換氣次數≥15次/h)。
光微電子產業凈化工程設計方案分析
對於常規電子車間的潔凈室空調設計，應根據電子車間的生產工藝要求和甲方的經濟條件選擇哪種空調設計方案，以滿足生產工藝要求為前提。根據以往經驗，要求高的可以選擇組合式空氣處理機組的空調方案；對於要求不高，前期投入少的，可以選擇櫃機+FFU。總之，具體方案選擇要看具體情況。●凈化工程中各級空氣潔凈度的空氣凈化處理應采用初、中、高效空氣過濾器三級過濾。100000級空氣凈化處理，可以用亞高效空濾代替高效空濾。
●空氣過濾器的選擇、布置和安裝應符合下列要求:壹次空氣過濾器不應采用油浸式過濾器；凈化空調系統的正壓段應設置中效空氣過濾器；凈化空調系統末端應設置高效空氣過濾器或次高效空氣過濾器，高效空氣過濾器的安裝方法應簡單可靠，並應防漏、可更換；應根據額定風量選擇中效、次高效、高效空氣過濾器；阻力和效率相近的HEPA過濾器應設置在同壹凈化車間。
●在確定集中式或分散式凈化空調系統時，應綜合考慮生產工藝的特點和凈化車間空氣的潔凈度等級、面積和位置等因素。在生產過程連續、潔凈室或凈化車間面積較大的地方，位置集中、對噪聲控制和振動控制要求嚴格的潔凈室應采用集中式潔凈空調系統。
●凈化空調系統需要電加熱時，應選用管式電加熱器，布置在高效空氣過濾器的上風側，並應有消防安全措施。
●可根據凈化空調系統的總送風量和總阻力值選擇風機，中效和高效空氣過濾器的阻力應按其初始阻力的兩倍計算。
●凈化工程中，除了直流系統和帶值班風機的系統外，凈化空調系統應采取防倒措施，防止室外汙染空氣通過新風出口進入凈化車間。
●潔凈空調系統的設計應合理利用回風。當工序中產生大量有害物質，局部處理不能達到衛生要求，或對其他工序有害時，不使用回風。