千分尺的測量面平面度的平晶檢測方法，平晶即平面平晶，其工作面是理想平面，平晶是利用光波幹涉現象，將微小幾何形狀誤差變為幹涉條紋進行讀數的測量平面度和直線度的工具，我們在檢定千分尺時用的通常為1級平面平晶。檢測時將平晶工作面和被檢測量面用航空汽油擦凈後，把平晶工作面靠在被測面上，當被測面是理想平晶時則平晶工作面與被測面緊密接觸，沒有空氣層，所以看到的幹涉條紋為平直狀，如果被測面不是理想平面，平晶工作面與被測面之間有空氣層，於是我們看到的不是平行明暗交替的幹涉條紋，而變成了圓形多條幹涉條紋。被測面平面度越差，幹涉條紋變形越大。當偏差大到壹定程度時，就變成光圈，因此，我們可以根據幹涉條紋的形狀或光圈的數量計算出被測平面的偏差量——平面度。如圖1為幹涉條紋反映平面度由好到差的3種情況。
根據幹涉條紋計算平面度，被測面的平面度δ是由通過平晶直徑方向上幹涉條紋的彎曲量（h）相對於條紋的間距（H）乘以所用光的波長（λ）的壹半計算的：
根據光圈計算平面度。當幹涉條紋的彎曲量等於幹涉條紋的間距，即h=H時，幹涉條紋就變成光圈：=N=1，根據光圈計算平面度時，在光圈大於1的情況下，是取平晶直徑方向上光圈數最多的光圈數（N）乘以所入光的壹半為平面度δ=N
2.千分尺測量面的平行度的測量
對於100mm以下的千分尺測量面平行度檢定,通常我們使用平行平晶，將平行平晶放在千分尺兩測量面間，使千分尺兩測量面與平行平晶兩個工作面接觸，接觸面之間產生幹涉條紋，以平行平晶兩工作面上產生的幹涉條紋數代入（m+n）r/2公式計算平行性。（其中，m，n為兩測量面上產生的幹涉條紋數；r為所用光源的波長）。檢定需要四塊平行平晶，其尺寸彼此差值相當於微動螺桿四分之壹周，依次使四塊平行平晶與千分尺測量面接觸，並調到幹涉帶條數為最少時進行讀數，最後以四塊平行平晶在千分尺兩測量面產生幹涉條紋數最多的壹塊作為千分尺的平行度。
對於大於100mm以上的千分尺測量面平行度檢定通常我們使用量塊，用對應千分尺測量範圍的量塊放在千分尺兩測量面間，用量塊同壹個位置對千分尺測量面的上下左右四個位置上分別讀數，並求出差值，其中最大值即為被檢千分尺的測量面平行度。
3.千分尺測量面的平面度超差和千分尺測量面間的平行性超差的調修
千分尺兩測量面的平面度與平行度不合格，通常是研磨修復，三塊以上研磨器、W2-W10研磨膏、煤油、平面度和平行度合格的測微螺桿等設備組成調修工具，用平面度優於0.3um,且測量面與螺桿軸心垂直度已得到驗證的測微螺桿取代原千分尺測微螺桿，並以其測量面為基準；在研磨器的壹面均勻塗上用煤油和研磨膏，另壹面只塗潤滑劑；然後將研磨膏的壹面與待修千分尺固定測砧測量面相接觸，另壹面接觸測微螺桿測量面作為基準，這樣可使其兩測量面保持平行，研磨時，大拇指、食指、中指捏住研磨器，保持平衡均勻用力，研磨器的前後推動並上下拉動，均勻旋轉運動；將原測微螺桿旋入，以研磨合格的固定測砧測量面為基準，按上面方法研磨測微螺桿測量面，研磨工作如圖2所示。
對於測量範圍在300毫米以上千分尺有些測砧是可調的，測量面的平面度與平行性的修理可以將測砧測量面、測微螺桿測量分別研磨，大尺寸千分尺測微螺桿同樣也是（0-25）mm的，可以將測微螺桿拆下旋入標準的（0-25）mm千分尺內，研磨測微螺桿測量面的平面度和平行度，研磨好再旋入待修大尺寸千分尺內測量平面度和平行度，進行測砧平面度研磨和調整，最後檢定。這是傳統手工研磨方法，非常有效，但不易操作，目前也有很多自動型研磨機進行平面度和平行度的調修，有條件的單位也可以配置千分尺測量面平行度檢查儀等專用測量器具。
千分尺測量面的平面度和平行度是示值誤差的主要引入方面，是我們日常檢定工作中主要關註的要點，根據多年從事千分尺修理方面的知識，相關人員目前正在著手設計大尺寸外徑千分尺研磨夾具，以便能不拆卸測微螺桿直接研磨。